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BX-Y369-3 数显质量流量控制系统
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关键词：气体质量流量控制器 流量控制系统 高精度流量控制 数显气体质量流量计
产品用途： 配合真空气氛管式炉一起使用，供企业实验室、大专院校、科研院所等单位选用。 仪器特点： 1.方便的气路快速连接接口，简化了流量控制系统与其它设备的连接。 2.采用数显流量显示仪，配合质量流量控制器，采集数据并控制流量。具有控制精度高，重复性好，相应速度快，稳定可靠等特点。 3.安全性： 采用单向阀技术，使气体流量在可控压力范围内控制，保证安全。 采用混气罐装置，使气体可以在充分混合后导入工作室内，确保不会泄露。 技术参数： 1.气路数量：三路 2.流量控制方式：自动控制 3.连接方式：双卡套接头 4.流量计：质量流量计 5.流量范围：0-500sccm（标准毫升/分）氮气标定 6.精度：±1%F.S 7.响应时间：≤4s 8.工作温度：5-45℃ 9.工作压力：进气压力0.05-0.3Mpa（表压力） 10.外形尺寸：770*580*778 11.外包装尺寸：930*740*863 12.重量：57kg 13.标准配件：PUφ6管/每路2米φ4x15mm不锈钢衬管5个
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